叔丁基二甲基氯硅烷又名特丁基二甲基氯硅烷、二甲基叔丁基氯硅烷、叔丁基二甲基硅基氯，英文名tertButyldimethylsilyl chloride，是一種白色或灰白色的晶體，顏色的差異在于雜質的含量有所不同。

我們在制備叔丁基二甲基氯硅烷時，需要將二氯二甲基硅烷的戊烷溶液作為原料進行冷卻至0℃，在氮氣的環境下，邊攪拌邊滴加叔丁基鋰的戊烷溶液，溫度保持0℃，攪拌反應1.5小時后加熱至25℃，繼續反應48小時。然后進行蒸餾，收集125℃（97.5kPa）餾分，靜置固化后可得到叔丁基二甲基氯硅烷，該方法的產率大約為70%。

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